Aquí se presenta un conjunto de datos de mediciones XPS, HAXPES y SEM para la caracterización físico-química de nanopartículas. Las mediciones forman parte del proyecto H2020 «NanoSolveIT». Las nanopartículas Ce0.9Zr0.1O2 fueron proporcionadas por Promethean Particles (identificador EMR en el proyecto: ERM00000399). Antes de las mediciones, las muestras se prepararon a partir de la solución como colada en obleas Si. Se realizaron las primeras mediciones SEM y EDS, seguidas de las mediciones XPS y HAXPES en las mismas muestras. Aquí en la primera encuesta se registraron espectros seguidos de espectros de alta resolución. Para XPS / HAXPES se montaron varias obleas Si juntas en una sola placa. La placa se dejó en la cámara de introducción del instrumento durante varias horas antes de que comenzara la medición. Equipo: Las imágenes SEM fueron adquiridas con un SEM Supra 40 (Zeiss) equipado con un espectrómetro Quantax 400 (Bruker) SDD EDS. Para experimentos de espectroscopia de rayos X, se utilizó un espectrómetro XPS / HAXPES combinado (Quantes de ULVAC-PHI), donde XPS se mide a 1486.6 eV (fuente monocromática de Al Kα) y HAXPES a 5414.9 eV (fuente monocromática de Cr Kα). Aquí es posible realizar las mediciones en la misma posición exacta. Datos: Para SEM, los datos se dan en formato .tif. Para XPS / HAXPES los datos brutos se dan como archivos .spe (formato PHI) y .npl (formato VAMAS). Las condiciones de medición se dan en los archivos de datos. Nombramiento de los datos: SEM: _tratamiento de la muestra (n), con n un número consecutivo. XPS / HAXPES: Para los archivos .spe y .npl correspondientes Pn.m.o.sample_treatment, con Pn: número de placa, m: número de espectro (orden de las mediciones); o: número de punto, de la posición en la muestra, muestra_tratamiento con "p" para prístino. Los autores agradecen a Sigrid Benemann, quien realizó las mediciones SEM.